製品
お問い合わせください
ティアンチェン キャン ハイ
Rip Li: 8618820461185
メール: lirp@tcqh-cn.com
Moon Zeng: 8618873738525
メール: tcqh_sz@163.com
半導体用窒化アルミニウムセラミック静電チャック
当社の窒化アルミニウムは、酸化耐性、化学的腐食耐性、熱衝撃耐性、機械的強度が良好で、誘電率が低く、熱膨張係数がシリコン結晶と類似しており、高い熱伝導率を有しています。
キーワード: 半導体用窒化アルミニウムセラミック静電チャック
説明
1. 材質：窒化アルミニウム。
2. 機能：断熱と放熱。
3. 色：グレー。
4. 種類：セラミック。
5. カスタマイズ可能：はい、具体的な製品の図面をご提供ください。
製品の詳細：
半導体用窒化アルミニウムセラミック静電チャック
製品の説明：
現代の半導体製造プロセスでは、ウェハーを複数の工程で処理するため、数百台ものプロセス装置間でウェハーを前後左右に搬送する必要があります。そのため、ウェハーを固定するための装置が必要です。静電チャックは、静電気による吸着力でウェハーを保持します。この吸着力は均一かつ安定しており、ウェハーが反りや変形を起こすことがないため、ウェハーの加工精度と清浄性を確保できます。
私たちのサービス：
当社の窒化アルミニウム基板は、さまざまなサイズと厚さでご用意しております。
仕様：
| 寸法（長さ×幅） | φ110×110mm |
| 厚さ |
5mmなど |
| 熱伝導率 |
170W/m.K |
| 誘電率 |
8～9（MHz） |
| バルク密度 |
3.3 g/cm 3 |
| 表面粗さ |
両面でRa <0.6 μm |
お問い合わせを送信する
注：メールアドレスをご記入ください。専門スタッフができるだけ早くご連絡いたします！
