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ティアンチェン キャン ハイ
Rip Li: 8618820461185
メール: lirp@tcqh-cn.com
Moon Zeng: 8618873738525
メール: tcqh_sz@163.com
説明
1.材料：窒化アルミニウム。
2.機能：断熱および放熱セラミック。
3.タイプ：セラミック。
4.色：グレー。
5. カスタマイズ可能：はい、特定の製品については図面をご提供ください。
製品の詳細：
静電チャック用窒化アルミニウムセラミックス
製品の説明：
静電チャック（ESC）は、さまざまな半導体プロセスにおいて、ウェハーを加工中に保持するために使用されます。ESCでは、一体型の電極を備えたプラテンが用いられ、高電圧を印加することでプラテンとウェハーの間に静電気的な保持力を発生させ、これによりウェハーを「チャッキング」します。窒化アルミニウムセラミックスは高い熱伝導率と絶縁特性を有し、ESCの材料として適しています。
当社の窒化アルミニウム基板（AlN）は、さまざまなサイズと厚さでご用意しております。豊富かつ最新の在庫により、ご注文いただいた部品を迅速に発送し、お客様のプロジェクトをスムーズに開始できます。
私たちのサービス：
カスタマイズについてはお問い合わせください。また、熱伝導率が最大230W/mKの窒化アルミニウム（AlN）セラミックもご提供可能です。
仕様：
| 寸法（長さ×幅） | φ170mmなど |
| 厚さ |
10 mm など |
| 熱伝導率 |
170W/m.K |
| 誘電率 |
8～9（MHz） |
| バルク密度 |
3.3 g/cm 3 |
| 表面粗さ |
両面でRa ≤6 μm |
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